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第六十六章 芯片实验66(第2页)

路芒挠了挠脑袋:“程教授,虽然我做的确实是DUV光刻机,但制程上完全可以做到14nm,甚至可以勉强做到5nm,就是一块晶圆可能就能刻不出几块良品就是了。”

“……”程铭看着路芒,半晌没有回话,峰回路转之下,他被惊住了,如果是换个人和他说用DUV可以刻出5nm的电路,他直接一巴掌甩过去,看看是不是得癔症了。

但现在说话的人确实在前两天送了一块在他们实验室测出来能达到14nm精度的晶圆。

这就有意思了。

他潜意识里是有点相信路芒的话的。

路芒见程铭愣在那,知道是自己的话有点惊世骇俗。

用DUV确实是可以做到7nm,不过良品率是一方面,另一方面是多重曝光技术也是封锁的一环。

目前夏国能做到的顶多也就是利用目前掌握的多重曝光技术制作的14nm。

至于7nm,就是还没有攻克,且一直在想办法的技术之一了。

自己这陡然说出用DUV做出5nm的精度,确实是有些吓人。

“不如,我们直接上手试试吧。”

程铭摩擦了自己的胡茬几下,从手提包中又拿出了一份芯片图纸出来?

“不如我们直接试试做芯片电路吧。”

“这是我们实验室设计的14nm芯片的电路图,苦于没有合适的设备可以加工,要不你这给我们试试?”

路芒当然是满口答应,这不费什么事,就连晶圆都是沙子搞得,也就是耗电量比较大。

不过因为他这个厂子的特性,供电公司给他这边开出的电费基本和民用电差不多,所以其实也还算便宜。

路芒当然看不懂芯片电路。

他大概给程铭介绍了一下机器的编程方式以及使用方式,就退到一边,看程铭的表演了。

程铭看了看自己所在的无尘间,外面看起来就是个板房,他倒是没想到里面竟然是一个无尘等级这么高的实验室。

这让他对于这台机器的性能,信心大增。

他在电脑上一通操作,虽然是第一次使用,不过路芒这台机器的软件也是特意编辑的,不算复杂。

对于用过相关软件的程铭来说,还算简单。

很快,也不是很快,其实已经过了七八个小时。

路芒算是明白了为什么研究人员会得胃病了,七八个小时,程铭就没停过,也不吃饭,一直在敲键盘。

不过,终于,这加工程序还是出现在了光刻机的内存中。

晶圆被送入光刻机。

紫外光源启动,开始工作。

DUV是193nm,事实上这种光源不算难弄,常用的紫外分光光度计中最低一般也可以到190nm。

而就是这台193nm的光刻机,即将让程铭欣喜万分。

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