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第六十六章 芯片实验66（第2页）

路芒挠了挠脑袋：“程教授，虽然我做的确实是DUV光刻机，但制程上完全可以做到14nm，甚至可以勉强做到5nm，就是一块晶圆可能就能刻不出几块良品就是了。”

“……”程铭看着路芒，半晌没有回话，峰回路转之下，他被惊住了，如果是换个人和他说用DUV可以刻出5nm的电路，他直接一巴掌甩过去，看看是不是得癔症了。

但现在说话的人确实在前两天送了一块在他们实验室测出来能达到14nm精度的晶圆。

这就有意思了。

他潜意识里是有点相信路芒的话的。

路芒见程铭愣在那，知道是自己的话有点惊世骇俗。

用DUV确实是可以做到7nm，不过良品率是一方面，另一方面是多重曝光技术也是封锁的一环。

目前夏国能做到的顶多也就是利用目前掌握的多重曝光技术制作的14nm。

至于7nm，就是还没有攻克，且一直在想办法的技术之一了。

自己这陡然说出用DUV做出5nm的精度，确实是有些吓人。

“不如，我们直接上手试试吧。”

程铭摩擦了自己的胡茬几下，从手提包中又拿出了一份芯片图纸出来？

“不如我们直接试试做芯片电路吧。”

“这是我们实验室设计的14nm芯片的电路图，苦于没有合适的设备可以加工，要不你这给我们试试？”

路芒当然是满口答应，这不费什么事，就连晶圆都是沙子搞得，也就是耗电量比较大。

不过因为他这个厂子的特性，供电公司给他这边开出的电费基本和民用电差不多，所以其实也还算便宜。

路芒当然看不懂芯片电路。

他大概给程铭介绍了一下机器的编程方式以及使用方式，就退到一边，看程铭的表演了。

程铭看了看自己所在的无尘间，外面看起来就是个板房，他倒是没想到里面竟然是一个无尘等级这么高的实验室。

这让他对于这台机器的性能，信心大增。

他在电脑上一通操作，虽然是第一次使用，不过路芒这台机器的软件也是特意编辑的，不算复杂。

对于用过相关软件的程铭来说，还算简单。

很快，也不是很快，其实已经过了七八个小时。

路芒算是明白了为什么研究人员会得胃病了，七八个小时，程铭就没停过，也不吃饭，一直在敲键盘。

不过，终于，这加工程序还是出现在了光刻机的内存中。

晶圆被送入光刻机。

紫外光源启动，开始工作。

DUV是193nm，事实上这种光源不算难弄，常用的紫外分光光度计中最低一般也可以到190nm。

而就是这台193nm的光刻机，即将让程铭欣喜万分。

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