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视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由nj;为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。
接下nj;来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由nj;曝光系统获取最nj;终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后而nj;的两步,只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出nj;错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最nj;大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什nj;么,他们连续实验多次,记录数据作比对,计算出nj;一个最nj;优概率。
键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”
杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我不知道。”
助手姑娘又没想nj;要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就nj;算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!
盛明安:“各组报告结果。”
来了!
众人振奋!
一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2!”
二组报告:“散热系统启动!散热功能正常!”
三组报告:“传感器反馈激光和液滴同步对准,激光等离子体在预估范围内捕获!”
四组报告……
随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成!
众人憋着一口气没出nj;声,就nj;等着盛明安总结。
盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我们的科研项目,激光等离子体极紫外光刻光源是――”
“135n!”
原本想nj;欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为自己nj;的耳朵坏了,他们出nj;现了幻听。
盛明安语气里流泻出nj;轻松的笑意:“恭喜大家。”
见众人没反应,他回头,疑惑:“你们不满意吗?”
林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才说135n……不是16n?”
同盛明安争论了将nj;近半个月早已震惊过的程院长nj;好笑地环顾众人表现不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔:“比aleuv的14n还精确了05n?”
杜颂捂着心脏,喃喃说道:“不是吧……我整天研究的就nj;是这么牛逼的玩意?”
助理姑娘掐得更狠了,但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。
“啊,”盛明安下nj;意识看nj;向陈惊g:“你们都有异议吗?”
陈惊g惊讶过后便是一笑:“没有异议。他们惊喜过头了。”
盛明安又看nj;向林成建等人,谁知他们而nj;而nj;相觑,陷入沉默,一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊――!!!”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会nj;影响到实验室设备,热爱实验室设备的盛明安就nj;该拉下nj;脸,而nj;负责掏钱买设备的陈惊g应该会nj;冷脸赶人出nj;去了。
但无伤大雅的此刻,他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。
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